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价格：电议
所在地：广东 广州市
型号：FS4001
更新时间：2021-03-06
浏览次数：994
公司地址：广州市番禺区石基镇市莲路石基村段1号
王耀坚(先生) 技术员
Siargo微小气体流量传感器FS4001价格
产品简介：Siargo微小气体流量传感器FS4001
FS4001系列小流量气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。独特的封装技术使之可用于各类管径，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器。
产品特点：
Siargo微小气体流量传感器FS4001价格
- 传感器灵敏度高,有小的始动流量
- 传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传
- 感器的计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高
- 传感器的零点稳定度高
- 全量程高稳定性
- 全量程高度和优良的重复性
- 低功耗
- 低压损
- 响应时间快
Siargo微小气体流量传感器FS4001价格
主要参数：
| 性能参数 | FS4001 | 单位 | |
| 通 径 | 1.0 | 1.8 | mm |
| zui大流量 | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SCCM |
| 量程比 | ≥100:1 | ||
| 精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
| 重复性 | 0.25 | %读数 | |
| 零点输出飘移 | ±30 | mV | |
| 输出飘移 | ±0.12 | %/oC | |
| 响应时间 | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
| 工作电源 | 8~18Vdc,50mA | ||
| 输出方式 | 线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc | ||
| zui大流量压损 | 350 | 300 | pa |
| zui大工作压力 | 0.5 | MPa | |
| 工作温度 | -10 ~ +55 | oC | |
| 存储温度 | -20 ~ +65 | oC | |
| 工作湿度 | <95%RH（无结冰、无凝露） | ||
| 机械接口 | 可拆式软管接头 | ||
| 校准方式 | 空气（或其他气体），20oC，101.325kPa | ||
| 重量 | 15 | g | |
FS4003/FS4008气体质量流量传感器
产品特点:
|
性能参数 |
FS4003 |
FS4008 |
单位 |
|
通径 |
3 |
8 |
mm |
|
zui大流量 |
2, 3, 4, 5 |
10, 20, 30, 40, 50 |
SLPM |
|
量程比 |
≥100:1 |
||
|
精度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
|
|
重复性 |
0.25 |
% |
|
|
零点输出飘移 |
±30 |
mV |
|
|
输出飘移 |
±0.12 |
%/℃ |
|
|
响应时间 |
10（默认，50，100，200，500，1000可设置） |
msec |
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|
工作电源 |
8~18Vdc,50mA |
||
|
输出方式 |
线性，RS232/RS485,模拟电压0.5~4.5Vdc |
||
|
zui大流量压损 |
100 |
600 |
Pa |
|
zui大工作压力 |
0.5 |
MPa |
|
|
工作温度 |
-10 ~ + 55 |
℃ |
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|
存储温度 |
-20 ~ + 65 |
℃ |
|
|
工作湿度 |
<95%RH（无结冰、无凝露） |
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机械接口 |
BSPT1/4（R1/4）,4mm/6mm/8mm快速接头 |
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|
校准方式 |
空气（或其他气体），20℃，101.325kPa |
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重量 |
57（带R1/4,BSPT1/4接口） |
g |
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热式气体质量流量计 气体质量流量计 气体质量流量计原理
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