DL10-4 数字式四探针测试仪

数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法标准并参考美国A.S.T.M标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。

北京北信未来电子科技中心是高科技产品系统集成商，集开发设计、生产、销售、服务、技术支持为一体的高科技企业。公司大量提供国内外各种先进的在线、离线仪器仪表、机械设备与材料，尤其在石油、化工、环保、电子、冶金、机械、光学、通讯、科技教学、医疗卫生等领域，与国内外众多著名专业厂家有密切合作关系。
经营领域主要包括：仪器仪表、气体检测仪、金属探测仪、环保设备、医疗保健、实验室仪器、化工仪器设备、农业仪器、机电设备、电力通讯设备等近百个行业多种仪器仪表技术和相关设备。
服务主要包括：仪器产品技术支持、产品制造、销售、维护、维修、运行。
自成立以来凭借专业的的技术服务团队、大型的仓储基地及完善的代理及销售体系业务发展迅速，相关党政军机构、院校以及世界五百强企业已成为北信未来电子长期合作伙伴，北信未来电子通过线上直销体系及遍布全国的经销网络，最大化压缩了商品流通环节，走自主品牌化道路，大大降低了客户采购成本，成为业内知名工业品系统集成商。
在未来的发展中，北信未来电子将继续坚持诚信、团队、专业、创新的企业精神，以更专业化的技术支持服务与优质的产品满足各行业的需求，为国内外仪器仪表市场发展贡献自己的力量。

  企业文化

  服务理念：

  “用心专业服务，创造精彩未来”

  战略目标：

  “以完善的解决方案和优质的服务，做中国仪器仪表领域最专业的服务商之一。”

  企业精神：

  “上进坚韧豁达高尚” 即：我们提倡员工在工作上积极努力，力求上进;具备坚韧不拔的意志力;拥有对待任何事情都能够乐观豁达的好性格;具有吃苦耐劳的高尚品德。

  价值观：

  “锐意进取、实现理想;积极参与，回报社会”

 数字式四探针测试仪 半导体材料电阻率测试仪 半导体材料电阻检测仪

型号DL10-4

DL10-4型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法标准并参考美国A.S.T.M标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。

仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。

仪器采用了新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。

DL10-4型四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。

测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析

技　术　指　标：

测量范围电阻率：0.001～200Ω.cm(可扩展)；

方块电阻：0.01～2000Ω/□(可扩展)；

电导率：0.005～1000s/cm；

电阻：0.001～200Ω.cm；

可测晶片直径140mmX150mm(配S-2A型测试台)；

200mmX200mm(配S-2B型测试台)；

400mmX500mm(配S-2C型测试台)；

恒流源电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调

数字电压表量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　

分辨力：10μV；

输入阻抗：>1000MΩ；

精度：±0.1%；

显示：四位半红色发光管数字显示；性、超量程自动显示；

四探针探头基本指标间距：1±0.01mm；

针间缘电阻：≥1000MΩ；

机械游移率：≤0.3%；

探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；

探针压力：5～16牛顿(总力)；

四探针探头应用参数(见探头附带的合格证)

模拟电阻测量相对误差

(按JJG508-87进行)0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整机测量zui大相对误差(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%

整机测量标准不确定度≤5%

计算机通讯接口并口

标准使用环境温度：23±2℃；

相对湿度：≤65%；

无高频干扰；

无强光直射；

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