电容传感器ZNXsensor测量显微镜移动平台的微量位移

显微镜移动台在移动停止后会有一定的反弹，平台移动总的的位移量有几毫米，但反弹量很微小，但反弹量决定了平台的移动精度。可以使用电涡流传感器测量平台的较大范围的移动，使用ZNXsensor电容传感器测量反弹的微小

 公司介绍 深圳市麦格米科技有限公司是英国真尚有集团(ZSY Group Ltd)的一部分，成立于2005年3月，集团总部设在英国伦敦。英国麦格米集团与欧美众多著名测量设备、传感器厂家合作研发、销售高端精密测量仪器及传感器。 麦格米科技依托集团优势，致力于引进国外最先进测量技术；是基于进口高端传感器，以软测量技术、RFID技术、无线传感器网络技术及相关中间件软件平台为发展方向，集研究、开发、销售、培训、系统集成、技术支持、售后服务为一体的高科技产业公司。麦格米科技所处的自动化测试测量领域前景十分广阔，直接服务于国内高端制造业。国内制造业的整体升级，需要大量高精度、高度自动化、高可靠性的测试测量设备、传感器，给我们带来了庞大的市场，和众多的发展机遇。真尚有科技在精密制造业、铁路测量、公路测量、设备监控...

电容传感器ZNXsensor测量显微镜移动平台的微量位移

无论是生物工程中的细胞操作、集成电路或光电子器件的加工,还是采用电子显微镜进行纳米操作,尽管其精度要求各不相同,但在硬件装备中均有一项共性的关键技术,那就是要解决载物台或其相应设备的的自动测量和定位。要实现这项关键技术,控制系统是非常重要的。搭建了一种闭环控制系统,用于控制某特性显微镜工作台。传感器的使用是闭环控制中必不可少的一环，电容传感器的精度决定着系统的精度。

显微镜移动台在移动停止后会有一定的反弹，平台移动总的的位移量有几毫米，但反弹量很微小，但反弹量决定了平台的移动精度。可以使用电涡流传感器测量平台的较大范围的移动，使用ZNXsensor电容传感器测量反弹的微小位移。

ZNXsensor电容传感器是一种非接触式的电容传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不同的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。

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