产品简介
WGL光电轮廓仪价格:98000元。WGL光电轮廓仪介绍 WGL光电轮廓仪获2007年BCEIA金奖,2007年度产品奖,2006-2007年度科学仪器
产品说明
WGL光电轮廓仪价格:98000元。
WGL光电轮廓仪 介绍
WGL光电轮廓仪获2007年BCEIA金奖,2007年度产品奖,2006-2007年度科学仪器新产品奖。:ZL200610148202.6。
WGL光电轮廓仪采用非接触、光学相移干涉测量方法,测量时不损伤工件表面,能快速测得各种工件表面微观形貌的立体图形,并分析计算出测量结果。
WGL光电轮廓仪适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙度,标尺、度盘的刻线深度,光栅的槽形结构镀层厚度和镀层边界处的结构形貌,磁(光)盘、磁头表面结构测量,硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。
WGL光电轮廓仪测量精度高,重复性好,具有非接触和三维测量等特点,并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果。
WGL光电轮廓仪适用于各级测试、计量研究单位,工矿企业计量室,加工车间和高等院校及科学研究单位等。
WGL光电轮廓仪 主要特点
仪器由倒置式改为正置式,更符合人们的操作习惯;
应用CMOS代替CCD,省去图象卡并提高了质量;
用低压电源代替高压电源,节省了仪器成本;
用国产的代替德国进口压电陶瓷,解决了关键部件的进口难题;
增加了自动步距和亮度校正程序,同时增加了局部放大三维立体图功能。
WGL光电轮廓仪 技术参数
表面微观不平深度测量范围:在连续表面上,相邻二象素之间没有大于1/4
波长的高度突变时:1000nm~1nm;
相邻二象素之间含有大于1/4
波长的高度突变时:130nm~1nm
;
测量的重复性:δRa≤0.5nm;
物镜倍率:
40×;
数值孔径:
0.65;
工作距离:0.5mm
;
仪器视场:目视Φ0.25mm,摄象
0.13×0.13mm;
仪器放大倍数:目视
500×,摄象(计算机屏幕观察)~2500×;
接收器测量列阵:
1000×1000,象素尺寸:
5.2×5.2μm;
测量时间/
采样(扫描)时间:1s;
仪器标准镜:反射率(
高)~50%
,反射率(
低)~4%
;
照明光源:白炽灯
6V 5W;
绿色干涉滤光片波长:λ=530nm
,半宽度λ=10nm
;
主显微镜升程:
110mm;
工作台升程:
5mm; X
、Y方向移动范围:~10mm
;
工作台旋转运动范围:
360°
;
工作台倾斜范围:±6°
;
操作系统:
WGL专用软件,Windows XP或2000系统;
电源:220V±22V,
50Hz±1Hz;
外形尺寸:主机300mm×300mm×500mm,电源
180mm×280mm×200mm
;
仪器净重:28kg
。本页产品地址:http://www.geilan.com/sell/show-444530.html