MUEGGE MUEGGE

MUEGGE磁控管、MUEGGE环流器、MUEGGE电源、MUEGGE波导元件

     上海智川工贸有限公司优惠供应MUEGGE磁控管、MUEGGE环流器、MUEGGE电源、MUEGGE波导元件

MUEGGE长期致力于工业微波加热系统及相关微波元件的研发、生产工作，其工作频率分别为915MHz和2450MHz，输出功率zui小300W，zui大可达100KW，我公司所有产品全部在室内安装、检测；另外其可根据用户需求，为您量身订做特种的工业微波加热系统。

MUEGGE公司拥有30年工业微波产品的生产制造经验，始终为用户提供新、的技术及产品，我们提供的微波电源、发生器全部由微电脑控制，可实现任何接口的通讯对接。

MUEGGE产品涵盖了从微波工业加热到等离子应用的多种工业场合，同时还可以为科研机构提供专用设备。

3KW微控管总成3KW ME0118P-01B3KW微控管3KW MB2658A-110EA2KW微波头2KW MH2000S-218BB3KW微波头3KW MH3000S-222BB3KW 微波电源3KW MX3000-125KL 微波电源射频电源线，40.68MHZ 60.00MHZ 81.36 100HZ 100MHZ德国射频电源畜能器液压畜能器，液压油缸MUEGGE微波等离子源/ PECVD/镀膜微波等离子PECVD 

微波镀膜 

微波等离子清洗

微波等离子蚀刻

MUEGGE微波发生器100KW100KW 915MHZ微波发生器MUEGGE微波电源微波电源，2450MHZ 20KWMUEGGE微波头　磁控管头紧促型微波头，适用于等离子行业的用户MUEGGE微波发生器5KW915MHZ5KW 915MHZ 微波发生器

用于制药，木材烘干，陶瓷处理等R3T等离子蚀刻机/SU-8移除的快速等离子蚀刻技术：德国R3T高速等离子蚀刻机

等离子蚀刻，干法蚀刻机，灰化，去胶，SU-8移除，应力消除，远程等离子源，MEMS（微机械零件加工），等离子干法蚀刻，亲水性/斥水性改变，表面糙化处理。型号STP 2020，STP1010用于小样板，＞20um/分钟

MUEGGE磁控管1260W- 2450 MHz

- 1260 W Power Output(matched load)

- Water-cooled anode - Packaged magnet

- Probe output - approx.: 70 % efficiency

UEGGE磁控管2M265-M12WJ3KW 水冷磁控管

MUEGGE磁控管TYPE: 2M130-71 (Hitachi)

2050 W CW Magnetron

MUEGGE磁控管75KWMagnetron 

Large Power Magnetron - 

For Industrial Applications 

Ceramic-metal Construction 

75 kW at 915 MHz 

All Magnetron Support Equipment Available 

MUEGGE磁控管6KW?2450 MHz 

?6000 W Power Output (matched load) 

?Water-cooled anode 

?Packaged e-magnet 

?Probe output 

MUEGGE水冷磁控管 3KWFEATURES:

- 2455 MHz (+/-15MHz)

- Highest S-band Power Output - 3000W

- 70% efficiency, typical

- Water-cooled anode

- Coaxial launch into WR-340

- permanent magnet

MUEGGE磁控管 MB2568A2KW磁控管，水冷

MUEGGE微波头　磁控管头- 2 kW HF-Power output

- Open mounted

- Int.filament transformer

- Int. magnetron, water cooled

- Int. Temperature switch

- Int. Isolator

- Int. Stub-TunerMUEGGE同轴微波发生器 300WHF-POWER : 300W CW / 500W Pulse (0...)

PULSEABLE : Up to 25kHz

FREQUENCY : 2,45GHz +-20MHzMUEGGE同轴微波发生器 500W- Continuous power control

- High efficiency

- Ripple <1% peak-to-peak

- Pulsable up to 25kHzMUEGGE微波等离子系统蚀刻率：

用于SU-8样板，＞20um/分钟

用于硅样板，可以达到90um/分钟

温度控制达到120℃

基板尺寸达到460mm*460mm

MUEGGE等离子设备各向同性蚀刻

对于SU8去除超过20um/min

对硅多种样品达90 um/min

对300mm晶片上光电保护层灰分达到10 um/min

SiN和BPSG：典型1 um/min

热氧化物：典型250 nm/min

MUEGGE3短截调谐器-功率：3 KW(zui大)

-频率：2450MHz，+/- 50 MHz

-调节量：电压驻波比（VSWR）10 (1KW)

MUEGGE自动调谐器-调节范围：VSWR<10:1

-调节精度：1%

-调节速度：1秒

MUEGGE环流器-隔离：26 dB

-输入功率：6000W

-反射功率：6000W

MUEGGE环流器微波隔离元件

-隔离：zui小23 dB

-输入功率：3000W cw

-反射功率：3000W cw

MUEGGE波导3短截调谐器 型号：MW2009A-260ED

工业微波源

调谐系统

MUEGGE等离子微波电源低压微波等离子源

实用的设计

小型化设计

广泛应用

高密度等离子体

率

损伤小

容易适配用户系统

MUEGGE微波等离子系统高频频率：2.45GHZ 尺寸：用户

915MHZ 材料：箱体：铝

    MOOG D664-4009 D664-4013 D664-4311K 664-4383K 

    MOOG D664-4384K D664-4714 D664Z4306K D664Z4382K 

    MOOG D765-019-5 D765-1048-5 D765-1603-5 D791-5008 

    MOOG D791-5045 D791-5021 D792-5002 G040-123-001 

    MOOG G631-3002B G631-3004B G631-3006B G761-3003-5 

MOOG G761-3009A G761-3602 G761-3605 M040-104B

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