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PR500/510 等离子清洗机

上海尔迪仪器科技有限公司
会员指数: 企业认证:  

价格:电议

所在地:上海

型号:PR500/510

更新时间:2014-07-03

浏览次数:873

公司地址:上海市闵行区中春路7628号208室

张鹏(先生)  

产品简介

用途: 硅晶圆表面光刻胶残留的灰化 零部件清理 界面活化 基板表面的处理 基板表面活性处理 微量研磨特征: 大口

公司简介

上海尔迪仪器科技有限公司是一家代理经销国内外著名品牌仪器的公司。同时还进行仪器认证服务,维护管理服务。秉承“销售先进仪器,提供优质服务”的遵旨。在化工、医药、科研、大学、医学等领域开拓出了广阔的市场,赢得了广大用户的信赖和好评。尔迪在今后的发展中将真诚、务实、服务的理念贯彻到底。一如既往的把国内外好的,适合广大用户使用的仪器带给大家。希望今后广大用户与我们相互协作共同发展。

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产品说明

   等离子PDFD PR300-PR301 (2).pdf
 用途:
      硅晶圆表面光刻胶残留的灰化
      零部件清理
      界面活化
      基板表面的处理
      基板表面活性处理
      微量研磨
特征:
       大口径石英工作仓
       操作简单
       小型一体化设计



型号

ADL311

ADL311S

对应试料

水溶性

水溶性&有机溶媒(连接GAS410时)

性能

水分蒸发量

Max. 1300ml/h

 

温度调节器设定范围

40~220℃(入口温度)、0~60℃(出口温度)

 

温度调节精度

入口温度±1℃

 

干燥空气量调节范围

0~0.7m3/min

 

喷雾空气压力调节范围

0~0.6MPa

构成

喷嘴洗净功能

从喷嘴前端喷出,手动脉冲喷气清洗

 

外部输出

入口温度、出口温度输出(4~20mA)

 

温度调节器

PID数码温度调节器

 

触摸屏

鼓风机、加热器、送液泵、脉冲喷气用开关、报警显示

 

控制切换开关

入口温度、出口温度控制切换(出口温度控制有条件)

 

温度传感器

K型热电偶

 

加热器

2.0KW(at200V)~2.88KW(at240V)

 

送液泵

导管型送液泵

 

喷雾用气泵

使用喷雾用空压机(另售)

使用喷雾用空压机(另售),但连接溶剂回收装置GAS410(另售)时使用GAS410内置空压机

 

服务插座

搅拌器用:AC220V, 2A

 

吸气鼓风机

管式鼓风机

 

过滤器

吸气过滤器、排气过滤器

 

溶剂回收

使用溶剂回收装置GAS410(另售)

 

喷雾喷嘴冷却结构

连接:接头×2,外径Φ10.5mm

 

喷雾用空气连接

接头外径,Φ7mm

 

喷雾用空气压力

0.3MPa

 

排气连接口径

Φ50mm

安全功能

入口、出口温度过热、送液泵反转功能、过电流漏电保护开关、喷嘴连接异常(与GAS410连接时)

规格

外形尺寸

W580×D420×H1150mm

 

重量

80kg

 

电源(50/60Hz)额定电流

AC200V 16A(AC220V 17A, AC240V 18A, 需要更换接线端子)

附属品

送液软管(硅胶带止动块)2根、排气软管(带1个软管扎带)1根、出口温度传感器、保险丝(250V 2A)、去静电线、进气软管5m(带2个软管扎带)、GF300喷雾组件

选购品

架台

ODL21C

 

安全保护罩

COV20C

 

其它

干燥空气流量计、温度记录仪、有机溶剂回收装置(GAS410)


本页产品地址:http://www.geilan.com/sell/show-4216027.html
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