SMC真空发生器的性能与喷管的zui小直径，收缩和扩散管的形状，通径及其相应位置和气源压力大小等诸多因素有关。图2为某真空发生器的吸入口处压力，吸入流量，空气消耗量与供给压力之间的关系曲线。图中表明，供给压力达到一定值时，吸入口处压力较低，这时吸入流量达到zui大，当供给压力继续增加时，吸入口处压力增加，这时吸入流量减小。
①zui大吸入流量qv2max的特性分析：较为理想的真空发生器的qv2max特性，要求在常用供给压力范围内(P01=0.4---0.5MPa)，qv2max处于zui大值，且随着P01的变化平缓。
②吸入口处压力Pv的特性分析：较为理想的真空发生器的Pv特性，要求在常用供给压力范围内(P01=0.4---0.5MPa)，Pv处于zui小值，且随着Pv1的变化平缓。
③在吸入口吵完全封闭的条件下，对特定条件下吸入口处压力Pv与吸入流量之间的关系如图3所示。为获得较为理想的吸入口处压务与吸入流量的匹配关系，可设计成多级真空发生器串联组合在一起。
④扩散管的长度应保证喷管出口的各种波系充分发展，使扩散管道出口截面上能获得近似的均匀流动。但管道过长，管壁摩擦损失增大。一般管工为管径的6---10倍较为合理。为了减少能量损失，可在扩散管直管道的出口加一个扩张角为6°---8°的扩张段。
⑤吸着响应时间与吸附腔的容积有关(包括扩散腔，吸附管道及吸盘或密闭舱容积等)，吸附表面的泄漏量与所需吸入口处压力的大小有关。对一定吸入口处压力要求来说，若吸附腔的容积越小，响应时间越短；若吸入口处压力越高，吸附容积越小，表面泄漏量越小，则吸着响应时间亦越短；若吸附容积大，且吸着速度要快，则真空发生器的喷嘴直径应越大。
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