MFC-S 气体质量流量控制器

气体质量流量控制器（MFC，Mass Flow Controller），是现代电子设备工艺气体流量控制的必不可少的控制单元。

气体质量流量控制器的原理和应用质量流量控制器用于对各种气体的质量流量进行测量和控制，大量用于电子工艺设备（如扩散、氧化、外延、ＣＶＤ、等离子刻蚀、溅射等）以及镀膜设备、光导纤维制造中；并广泛用于石油化工、冶金、制药等行业。它通常由流量传感器、流量调节阀、放大控制器和分流器通道等组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源盒提供。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量流过气体的质量流量，具有温度、压力囱动补偿特性。

产品功能和特点：

<0.2%FS

zui高三年质保

技术参数：
1.量程：20/50/100//3000 sccm

2.气体类型：非腐蚀性气体 e.g. N2, O2, Air, CO2, Ar, He, H2

3.测量精度：

N2, 25°C, 1 bar:

≤ ± 0.2 % F.S. 对于 0...10% F.S.

≤ ± 1 % O.R. 对于 10... F.S.

4.长期稳定性：± 0.25 % F.S. /年

5.工作温度：0-50 ºC

6.气体压力：0.5-3 Bar

7.输入输出：0…5 V

8.气管接头：¼ 不锈钢卡套

9.漏率：Helium Leak check <10^-10 mbar l/s

10.电源：+12-24V

11.响应时间：<800 ms

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