产品简介
简单介绍MKS远程等离子体源CVD工艺腔室清洗的选择： 1.提高生产力人工清洗时间占用大量的设备时间，又是还多于成膜时间，还可能造
公司简介
岱美有限公司（下面简称岱美）成立于1989年，是一间拥有多年经验的国际性高科技设备分销商，主要为半导体、MEMs、光通讯、数据存储、高校及研发中心提供各类测量设备、工序设备以及相应的技术支持，并与一些重要的客户建立了长期合作的关系。
自1989年创立至今，岱美的产品以及各类服务、解决方案广泛地运用于中国大陆、香港、台湾、新加坡、泰国、马来西亚、日本及菲律宾等地区。
主要产品包括有：晶圆键合设备、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、压力计、流量计、等离子电源、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、电容式位移传感器、振动样品磁强计 (VSM)、粗糙度检测仪、电镜 (SEM)、透镜 (TEM)、原子力显微镜 (AFM)、防振台系统、三维原子探针材料分析仪 (Atom Probe)、激光干涉仪、平面／球面大口径动态激光干涉仪、氦质谱检漏仪、紫外线固化仪、碳纳米管生长设备等。
岱美中国拥有八十多名训练有素的工程师，能够为各地区用户作出快捷、可靠的技术支持和维修服务；为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求，岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练，务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。
总部位于中国香港的岱美分别在新加坡、泰国、台湾、马来西亚、日本、菲律宾及中国大陆（上海、东莞及北京）设立了分公司及办事处，以带给客户更快捷更全面的销售及维修服务。
我们真诚希望和业界的用户互相合作，共同发展！！
展开
产品说明
简单介绍
MKS远程等离子体源——CVD工艺腔室清洗的选择： 1.提高生产力人工清洗时间占用大量的设备时间，又是还多于成膜时间，还可能造成腔室部件的意外损坏。使用非常活性的化学品，或腔室内等离子体的存在，喷砂等清洗都会有损于腔室内部的部件 2.节约成本 优选远程等离子体清洗理由 减少工艺腔内部的损坏 更高的清洗速率 更高的清洗均匀性 CVD成膜和工艺腔室清洗的工艺优化可分别处理
MKS远程等离子体源的详细介绍
远程等离子体源工作原理
*“远程等离子体源技术” 是基于变压器工作
——初级由RF源提供功率电流
——次级感应电流激发环形等离子体.
*等离子体形成于直径为2.5厘米的环形通道
*三种功能集成在单一封装内
——控制
——功率产生
——等离子体产生
*等离子体内保持很低的电场
——避免对腔室内壁的离子轰击
——典型电场为 4-8 v/cm.
MKS远程等离子体源的优势——CVD工艺腔室清洗的选择
1.提高生产力
人工清洗时间占用大量的设备时间，又是还多于成膜时间，还可能造成腔室部件的意外损坏。
使用非常活性的化学品，或腔室内等离子体的存在，喷砂等清洗都会有损于腔室内部的部件
2.节约成本
优选远程等离子体清洗理由
减少工艺腔内部的损坏
更高的清洗速率
更高的清洗均匀性
CVD成膜和工艺腔室清洗的工艺优化可分别处理
详情可见网站：http://www.dymekchina.cn/
本页产品地址：http://www.geilan.com/sell/show-314657.html
免责声明：以上所展示的[
MKS远程等离子体源]信息由会员[
东莞市岱美工业仪器服务有限公司]自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责。
[给览网]对此不承担任何责任。
友情提醒：为规避购买风险，建议您在购买相关产品前务必确认供应商资质及产品质量！
