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特点：
u Z轴装有数显弧形标尺，可以提供更大的测量范围和更高的分辨率，从而不必再依次测量倍率。
u 可以应用数据分析系统 (个人计算机和Rormpak-1000软件和XYX坐标绘图仪)
| X轴 | 测量范围 | 50mm(CV-1000)或100mm()CV-2000 | |
| 分辨率 | 0.2μm | ||
| 测量方法 | 反射型光栅尺 | ||
| 驱动速度 | 0.2mm/s\\\\\\\\1mm/a和手动 | ||
| 测量速度 | 0.02-5mm/s | ||
| 测量方向 | /向后 | ||
| 直线度 | 3.5μm /50mm 1.5μm/mm(当X轴在水平方向上 | ||
| 指示精度 (20℃) | ±(3.5+2L/100)μm L为驱动长度(mm) | ||
| 倾斜范围 | ±45°(CV-2000) | ||
| Z1轴 | 测量范围 | 25mm(CV-100)或40mm(CV-2000) | |
| 分辨率 | 0.4μm(CV-1000系列) 0.5μm(CV-2000系列) | ||
| 测量方法 | 弧形编码器 | ||
| 指示精度 (20℃) | ±(3.5+14H/25)μm) H为水平位置上的测量高度(mm) | ||
| 探针上下运作 | 弧形运动 | ||
| 探针方向 | 向下 | ||
| 测力 | 10-30mN | ||
| 跟踪角度 | 向上 | 77° | |
| 向下 | 87° | ||
| 探针针尖 | 半径 | 25μm | |
| 材料 | 硬质合金针尖 | ||
| 基座尺寸(WxH) | 750x600mm(CV-2000) | ||
| 基座材料 | 花岗岩(CV-2000) | ||
| 重量 | 主机 | 5kg(CV-10000N2)、115.8kg(CV-2000M4)、124kg(CV-2000S4) | |
| 控制装置 | 14kg | ||
| 遥控箱 | 0.9kg | ||
| 电源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz | ||
| 能耗 | 150W仅限主机 | ||
性能参数
| 型号 | CV-1000N2 | CV-2000N4 | CV-2000S4 |
| X1轴测量范围 | 50mm | 100mm | 100mm |
| Z1轴测量范围 | 25mm | 40mm | 40mm |
| Z2轴测量范围 | - | 250mm | 320mm |
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