SQC310系列 膜厚控制仪

具有先进的电子学, 改进的显示器, 和非常高的性价比,

INFICON SQC310 系列为您提供其它生产厂薄膜控制仪所没有的性能与特色. 同时可为您的应用选择理想的模式: 顺序镀膜 (SQC310) 或并行镀膜 (SQC310C).
用于顺序镀膜, SQC310 装备有 2 个传感器输入, 2 个      源输出, 和 8 个数字输入/输出, 提供为这些数量加倍的     扩展插件板选件. 用于并行镀膜, SQC310C 控制仪监测多
至 4 个石英晶体传感器, 带有 4 个PID 控制输出, 16个数
字输入, 和16个继电器输出, 与 SQC310 的规范相同.

特点

■    高亮度,   VGA 活性点阵彩色LCD显示器 –
可显示英文或中文.

■    标准 RS-232 和 USB (有以太网选件).

■    易设置和操作，有 “快速设置” 菜单, 6 个上下文-敏感的按钮, 和方便的参数设定旋钮.
■    Windows   程序用于开发, 测试, 和下载工艺过程,   和将仪器数据记录至您的PC上, 用于过程分析与       质量控制.
■    精确的过程控制, 尤其用于低淀积率, 在10 读值/秒时的分辨率为± 0.03 Hz, 在 0 至 50°C温度范围内的频率稳定性为± 2 ppm.
■    贮存容量高至100 个工艺过程, 1,000 个膜层, 50
  个膜系.

■    用单传感器或多传感器监测源材料, 提供精确的源  分布监测.
 

全球性支持:
我们的专长是您的竞争优越性

INFICON 的办事处遍布全球, 是可提供您就地服务      和全球性技术支持 — 包括提供 SQC310 系列的全部附件   如传感器, 馈入件和辅件的薄膜镀层控制仪制造商. 订购 SQC310 系列仪器 — 或任何其它 INFICON 产品 — 不管    您在何处, 您将得到迅速的答复,亲临现场的服务, 和zui大的   设备正常运行时间.
技术规范

测量
SQC310 SQC310C
 探头输入 2 (可选4个) 4
频率范围 4 至 6 MHz
频率分辨 ± 0.03 Hz, 在 0.10 秒测量周期内               频率稳定性  ± 2 ppm 总量, 0 至 50°C           测量速率   1 至 10 Hz
速率显示 0.01   / 秒
控制
贮存 100 个过程, 1000 个膜层, 50 个膜系
控制输出 2 (4 可选) 4
输出讯号 ± 0 至 10 伏直流, 15 数据位
数字输入/继电器 8 (16 可选) 16
数字输入   5 伏直流 非隔离继电器  SPST 从 1安, 30伏, 2安 zui大  接口 RS-232 和 USB (以太网可选) 遥控电源控制     可选
显示器
型号 1/4 VGA 320 x 240 活性点阵彩色LCD         图象 速率, 偏差, 功率 或 全屏数字                 综合
电源 100-240 伏交流, 50/60 Hz, 25瓦
遵守标准  CE Windows  软件 内含
外壳 / 安装 5 1/4”    - 机架