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分子泵广泛应用于光学玻璃镀膜工业;薄膜工艺;真空冶金;照明工业排气等领域。
产品特点:
1)铣制变截面叶片,强度好,对H2的压缩比高。
2)独有设计,可在用户处更换轴承。
3)油位光电监控,无缺油损泵之忧。
4)温度检测。
5)矮形设计,节约空间。
型号 | F-400/3600 |
抽气速率(l/s) | |
压缩比N2 | >108 |
压缩比H2 | >5×102 |
极限压强(Pa) | <2×10-6 |
高真空法兰 | 400ISO-K |
排气口法兰 | 100ISO-K |
启动加速时间(min) | <10min |
电机转速(n/min) | 12600n/min |
zui小不平衡量(mg) | 15mg |
建议采用前级泵 | 机械泵 |
充油量(ml) | / |
安装方式 | 垂直±5° |
冷却方式 | 水冷 |
冷却水温度 | < |
环境使用温度(℃) | 水冷< |
泵体烘烤温度(℃) | < |
泵重量(kg) | |