XTY5130351 非接触式三维光学轮廓仪

非接触式三维光学轮廓仪测量原理：相干相关算法（Coherence Correlation Interferometry）垂直方向测量范围（Z）：2.2mm，拼接后

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  主要代理品牌：台湾泰仕、台湾固纬、台湾衡欣、台湾群特、台湾路昌、德国德图、德国赛多利斯、德国EPK、美国奥豪斯、美国泰克、美国雷泰、美国蒙纳多、美国福禄克、美国艾力、英国凯恩、意大利哈纳、香港希码、北京时代等，技术先进，性价比居国内仪器仪表市场前列。
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非接触式三维光学轮廓仪

测量原理：相干相关算法（Coherence Correlation Interferometry）
垂直方向测量范围（Z）：2.2mm，拼接后可达10mm
垂直向分辨率：0.01nm（0.1 Å）
垂直方向噪音：＜0.08nm
垂直方向测量重复性：＜0.02nm
zui大测量区域（X，Y）：6.6mm × 6.6mm，拼接后可达75mm ×75mm
光学分辨率（X，Y）：0.4~0.6µm（与被测面有关）
工作台尺寸：X，Y=150mm × 150mm，Z=100nm
台阶高度重复性：＜ 0.1%
测量物镜：2.5× 5× 10× 20× 50× 100×
标准平面：平面度＜ 0.2nm （RMS）
数据分析软件：Talymap （Golden版），可以分析所有的二维和三维形貌和轮廓参数

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