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uScan TMS-2000W-RC TMS-3000-WRC Schmitt 光学粗糙度测试仪

东莞市岱美工业仪器服务有限公司
会员指数: 企业认证:

价格:电议

所在地:广东 东莞市

型号: uScan TMS-2000W-RC TMS-3000-WRC

更新时间:2011-12-31

浏览次数:1755

公司地址:东莞市南城区鸿福路200号第一国际C座812室

唐小姐(女士) 销售经理 

产品简介

Schmitt集工业设计、制造、及测试、测量控制系统于一身,其旗下的施密特光学表面粗糙度测量系统创建于上世纪九十年代中期,致力于晶

公司简介


 岱美有限公司(下面简称岱美)成立于1989年,是一间拥有多年经验的国际性高科技设备分销商,主要为半导体、MEMs、光通讯、数据存储、高校及研发中心提供各类测量设备、工序设备以及相应的技术支持,并与一些重要的客户建立了长期合作的关系。
  自1989年创立至今,岱美的产品以及各类服务、解决方案广泛地运用于中国大陆、香港、台湾、新加坡、泰国、马来西亚、日本及菲律宾等地区。
  主要产品包括有:晶圆键合设备、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、压力计、流量计、等离子电源、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、电容式位移传感器、
振动样品磁强计 (VSM)、粗糙度检测仪、电镜 (SEM)、透镜 (TEM)、原子力显微镜 (AFM)、防振台系统、三维原子探针材料分析仪 (Atom Probe)、激光干涉仪、平面/球面大口径动态激光干涉仪、氦质谱检漏仪、紫外线固化仪、碳纳米管生长设备等。
  岱美中国拥有八十多名训练有素的工程师,能够为各地区用户作出快捷、可靠的技术支持和维修服务;为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求,岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练,务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。
  总部位于中国香港的岱美分别在新加坡、泰国、台湾、马来西亚、日本、菲律宾及中国大陆(上海、东莞及北京)设立了分公司及办事处,以带给客户更快捷更全面的销售及维修服务。
  我们真诚希望和业界的用户互相合作,共同发展!!
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产品说明

 Schmitt集工业设计、制造、及测试、测量控制系统于一身,其旗下的施密特光学表面粗糙度测量系统创建于上世纪九十年代中期,致力于晶圆和光碟生产工业及表面光散射测量技术,其产品主要应用于平面粗糙度测试,比如硅片,硬盘及镜面等等。施密特光学表面粗糙度测量系统向客户提供快速,非接触式测试,测量精度小于0.5Å,有着其他竞争对手所无法比拟的精度水平。

Schmitt设计并制造了一系列高精度的表面测量及校准产品,产品涵盖了国内外多样化的市场需求。施密特的测量生产线由以下几个系列的产品组成,包括磁盘和晶圆测量工具,先进的表面分析散射仪。

型号详情:

μScan

产品优势:
 

―      便携式設計,輕巧方便

―      不受样品大小或環境限制

―      無需安裝,一插即用

―      操作简单,测量速度快

―      测量范围1Å ~1100Å
   (粗糙度: Ra, RMS, P-V)

―      测量精确,分辨率高

―      體積小,容量大,自带内存可存储
   700个数据,255個檔案

―      可程式設定合格/不合格標準

―      可附加軟件用於控制,分析和文件轉換

―      应用光学表面、高精密机械加工表面、半导体硅片、轧制及成型加工表面

技术参数:

测量范围:      粗糙度 (Ra, RMS, P-V)  : 1Å up to 1100Å 
               反射率 (Reflectance)   : 0.1 up to 100.0%
               双向反射分布函数(BRDF) : 1e-6 to 1e0 (sr-1)
空间带宽:      上限 10 to 999 μm (可选)                   

      下限 1.0 μm
测量时间:       <5s                                  

光斑尺寸:       1mm
:      ±0.5%  

    :      ±2% Reflectance      

            ±3% Scatter
探测头波长:    670nm (1300nm可选)

TMS-2000WRC

产品优势:

―   非接触式,无损样品测试

―   粗糙度量程(Ra&RMS0.2 Å~10,000 Å

―   可以径向、轴向、整体&区域扫描测试

―   价格低于同级别的轮廓仪、AFM及干涉仪

―   操作简单,测量速度快20100/

―   测量精度高,分辨率可达0.02Å

―   重复性可达±0.1 Å

―   提高产品质量检测的可控性

―   主要应用于晶圆测量单晶硅&SOI 

技术参数:

光源: Class II Laser, 670 nm         光斑: ~1mm直径
范围: 0.2Å - 10,000Å (RMS  Ra)     分辨率: 0.02Å

可重复精度:  ±0.1Å                  再现精度: ±0.20 Å

测试点样品整体扫描到单点测试       

速度每秒钟进行20~100次测量
测试参数: Ra or RMS (Rq) 微观粗糙度 P-V, RMS 倾斜, TIS, 漫反射率镜面反射率总反射率, R-C 
空间滤波频率: (波长)
              低波段:  0.026  0.129 um-1  (7.8  38 um)
              高波段:  0.129  1.14  um-1  (0.88  7.8 um)
              全波段:  0.026  1.14  um-1  (0.88  38 um)
Comp Band:  0.2 150um 可选     

微观粗糙度可以径向、轴向、整体&区域扫描测试
                                                           

TMS-3000WRC

产品优势:

―   非接触式,无损样品测试

―   粗糙度量程(Ra&RMS0.2 Å~10,000 Å

―   可以径向、轴向、整体&区域扫描测试

―   价格低于同级别的轮廓仪、AFM及干涉仪

―   操作简单,测量速度快20100/

―   测量精度高,分辨率可达0.02Å

―   重复性可达±0.1 Å

―   提高产品质量检测的可控性

―   主要应用于晶圆测量单晶硅&SOI 

技术参数:


光源: Class II Laser, 670 nm                      光斑: ~1mm 直径
测试点样品整体扫描到单点测试                    速度每秒20~100次测量
范围: 0.2Å - 10,000Å (RMSRa)                    分辨率: 0.02Å
可重复精度: ±0.10 Å                              再现精度: ±0.20Å
测试参数: RA or RMS (Rq) 微观粗糙度 P-V, RMS 倾斜, TIS, 漫反射率,镜面反射率,  总反射率, R-C 
空间滤波频率:  (波长)
               低波段:  0.026  0.129 um-1  (7.8  38 um)
               高波段:  0.129  1.14  um-1  (0.88 7.8 um)
               全波段:  0.026  1.14  um-1  (0.88 38 um)
Comp Band:  0.2 150um可选       

 微观粗糙度:可以径向、轴向、整体&区域扫描测试


本页产品地址:http://www.geilan.com/sell/show-123204.html
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