国防科大研制出超光学镜片 1纳米是一根头发丝的8万分之一,而小于1纳米则被称为亚纳米——这是国防科大工程创新团队在超光学零件加工中创造的“精度”,有力支撑了“大规模集成电路制造装备与成套工艺”等3个重大科技专项创新突破,3年来为创造直接经济效益2亿多元。近日,该校研制两种超精抛光装备通过重大科技专项验收。
超加工是以为目标的制造技术,纳米精度被誉为超加工技术皇冠上的明珠,西方发达将其视为战略资源,严格限制出口。面对我国光学零件制造水平的窘境,国防科大工程创新团队在李圣怡教授率领下,跳过一、二代光学零件制造加工技术,直接瞄准基于可控柔体制造的第三代光学加工方法开展攻关,在次研制出拥有知识产权的磁流变、离子束两种超精抛光装备,创造了我国光学零件加工亚纳米的“精度”奇迹,使我国光学自动化加工技术及工艺一跃进入水平,成为继美、德之后第三个掌握光学零件制造加工技术的,也是目前上同时具有磁流变和离子束抛光装备研发能力的。
国防科大研制出超光学镜片 近3年来,该团队与中科院、航天科技集团、航空工业集团等合作,推动我国空间光学、高端装备制造发展,研制出两大类7个型号的磁流变和离子束抛光机床,为“大规模集成电路制造装备与成套工艺”“高分辨率对地观测系统”等3个重大科技专项提供技术保障和装备支撑,解决了一系列制约其创新发展的技术难题。团队先后获得科技部重大科技专项颁发的“突出贡献奖”和“突出成果奖”。