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FT-330系列普通四探针方阻电阻率测试仪
一. 描述：
采用范德堡测量原理能解决样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差，提供通讯接口，PC软件数据处理及数据分析.中文或英文语言版本.
FT-330系列普通四探针方阻电阻率测试仪
二.参照标准：
硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）及国家标准设计制造；GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.
FT-330系列普通四探针方阻电阻率测试仪
三.适用范围：
适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析半导体材料质量的工具；液晶显示，自动测量和系数补偿，并带有温度补偿功能，自动转换量程；采用AD芯片控制，恒流输出，选配：PC软件，保存和打印数据，生成报表
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规格型 |
FT-331 |
FT-332 |
FT-333 |
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1.方块电阻 |
10-5～2×105Ω/□ |
10-4～2×105Ω/□ |
10-3～2×105Ω/□ |
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2.电阻率范围 |
10-6～2×106Ω-cm |
10-5～2×106Ω-cm |
10-4～2×106Ω-cm |
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测试电流范围
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0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA |
10μA，100µA，1mA，10mA，100mA |
0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA |
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4.电流精度 |
±0.1% |
±0.2% |
±0.2% |
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5.电阻精度 |
≤0.3% |
≤0.3% |
≤0.3% |
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6.显示读数 |
液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率 |
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7.测试方式 |
普通单电测量 |
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8.工作电源 |
输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W |
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9.误差 |
≤4%（标准样片结果） |
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10.选购功能 |
选购1.pc软件； 选购2.方形探头； 选购3.直线形探头； 选购4.测试平台；5.标准电阻 |
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11.测试探头 |
探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格; 探针材质选购：碳化钨针;白钢针；镀金磷铜半球形针 |
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FT-330系列普通四探针方阻电阻率测试仪
