吸入、食入对眼和呼吸道粘膜有强烈刺激作用。高浓度下，会引起角膜混浊、呼吸道炎症，甚至肺水肿，并可伴有头昏、头痛、乏力、恶心、呕吐、心慌等症状。溅在皮肤上，可引起坏死、溃疡，长期不愈。

　　氯硅烷急救措施

　　皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用流动清水冲洗15分钟以上。若有灼伤，就医治疗。眼睛接触：立即提起眼睑，用流动清水冲洗15分钟或用2%碳酸氢钠溶液冲洗。吸入：脱离现场至空气新鲜处。注意保暖，保持呼吸道通畅。必要时进行人工呼吸。就医。食入：患者清醒时立即漱口，给饮牛奶或蛋清，立即就医。

　　氯硅烷泄漏处理

　　疏散泄漏污染区人员至安全区，禁止无关人员进入污染区，建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿化学防护服。不要直接接触泄漏物，勿使泄漏物与可燃物质(木材、纸、油等)接触，在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发(或扩散)，但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。将地面洒上苏打灰，然后用大量水冲洗，经稀释的洗水放入废水系统。如果大量泄漏，不用水处理，在技术人员指导下清除。