天瑞荧光光谱仪原理，当能量于原子内层电子结合能的能X射线与原子发生碰撞时,驱逐个内层电子而出现个空穴,使整个原子体系处于不稳定的激发态,激发态原子寿命约为 (10)-12-(10)-14s,然后自发地由能量的状态跃迁到能量低的状态.这个过程称为驰过程.驰豫过程既可以是非辐射跃迁,也可以是辐射跃迁.当较外层的电子跃迁到空穴时,所释放的能量随即在原子内被吸收而逐出较外层的另个次光电子,此称为俄歇效应,亦称次光电效应或无辐射效应,所逐出的次光电子称为俄歇电子.