MHY标准型离子束溅射薄膜压力传感器,应用的离子束溅射和离子束刻蚀艺,将应变电桥直接制作在金属测压膜片上。由于不用传统的胶粘艺,显著改善了应变式传感器的长期稳定性及抗蠕变特性,使产品使用的温度范围大为扩展。 由于没有活动件,抗振动和抗冲击的能力很强,可用于恶劣的环境。 术特点： 应用域： ◆压力、、稳定性 度优于0.1%/年 ◆变送器组装厂商 ◆抗振动、冲击、耐腐蚀不锈钢结构 ◆自动控制及检测系统 ◆体积小、重量轻直接过程安装 术标 标名称 性能标 电气性能 被测介质 气体、液体(和17-4PH不锈钢相容)及蒸气 量程 0、0.1、0.6、1.0、1.6、2.5、4、6、8、10、16、20、25 30、40、50、60、70、80、100、120、150 （Mpa） 供电电源 5～15V DC 度 ±0.1%FS、±0.25%FS、±0.5%FS（三档度选） 零点输出 0mv±1.0mv 满量程输出 16 mv±2mv 输入阻抗 3KΩ (±1.5KΩ) 输出阻抗 3KΩ (±1.5KΩ) 响应时间(10%~90%) ≤1ms 缘电阻 2500MΩ,100VDC 电气连接 φ0.12mm镀银引线 环境性能 零点温漂 ±0.01%FS/℃ ±0.02%FS/℃ 灵敏度温漂 ±0.02%FS/℃ 相对湿度 60%±10% 环境压力 86~106kPa 作温度 －40～85℃ 位置影响 在何方向偏离90°，零点变化≤0.1% 振动影响 在10gRMS，20~2000Hz条件下无变化 寿命 1×1010压力循环 结构性能 过压过载 满量程1.5倍压力 压力接口 标准接口 接口材质 不锈钢1Cr18Ni9Ti 重量 40克