热式气体质量流量控制器 型号；HA-S48 32/HMT

编号	项目	S48 32/HMT
1	流量规格	(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (1,2,3,5,10,20,30)L/min
2	调节阀类型	电磁调节阀
3	调节阀静止状态	常闭
4	安装方向	任意
5	流量控制范围	2%-
6	流量测量范围	(0-100)%
7	零点温漂	0.6%F.S.(15~35℃)
8	响应时间	2s(T98,设定值的±2%F.S.)
9	工作环境温度	5~50℃
10	精度保证温度	15~35℃
11	精度	±1.0%F.S
12	线性	±0.5%F.S
13	重复精度	±0.2%F.S
14	工作压差范围	~5L/min:(0.05-0.3)MPa 10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa
15	耐压	3MPa
16	漏率	1×10-8Pa.m3/s(He)
17	管路接头	1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm
18	供电电源	±15VDC(±5%) ＋15V,100mA;－15V, 200mA
19	设定信号	(0-5)VDC 输入阻抗>1MΩ
20	流量输出信号	(0-5)VDC 负载输出电流能力≤3mA
21	电气接头	D-SUB15
22	尺寸 (mm)	113（宽）×121（高）×32（厚）

北京恒奥德仪器仪表有限公司

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